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熊蓋站  -> 聊天哈啦 -> 時事新聞  -> 【資訊】450毫米晶圓2018年量產 極紫外光刻緊隨

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andy6989 論壇執行長 ∷ 職務: 站長 ∷ 編號: 1 ∷ 級別: 天使會員 ∷ 發帖: 8098 篇 ∷ 威望: 6189 點 ∷ 財富: 36813 蓋幣 ∷ 貢獻: 173 個 ∷ 配偶: 單身 ∷ 家族: 無門無派 ∷ 註冊: 2005-01-30 ∷ 上次: 2019-03-27 鮮花(55) 寵物資料 熊蓋站 寵物狀態：生存 寵物級別：287 -最終進化- 寵物PK：開（接受挑戰） HP:7275/7275 MP:674/674 SP:4800/5000 EXP:86%   【字體：大 中 小】 《   》 【本站推薦】:  【資訊】450毫米晶圓2018年量產 極紫外光刻緊隨 全球最大的半導體製造設備供應商荷蘭ASML今天披露說，他們將按計劃在2015年提供450毫米晶圓製造設備的原型，Intel、三星電子、台積電等預計將在2018年實現450毫米晶圓的商業性量產，與此同時，極紫外(EUV)光刻設備也進展順利，將在今年交付兩套新的系統。 ASML在一份聲明中稱：「在客戶合作投資項目的支持下，我們已經完成了用於極紫外、沉浸式光刻的450毫米架構的概念設計，將在2015年交貨原型，並兼容2018年的量產，當然如果整個產業來得及的話。」 Intel在今年初展示了全球第一塊完整印刷的450毫米晶圓，跨過了里程碑式的一步，並隨後宣佈將投資20億美元對俄勒岡州D1X Fab工廠進行擴建，預計2015年可建成並安裝450毫米晶圓生產設備。 歷史上每次擴大晶圓尺寸都會將可用面積增加30-40％，芯片成本也有相應的降低，300毫米過渡到450毫米同樣如此，所以為了使用更先進的製造工藝和極紫外光刻技術，450毫米晶圓勢在必行，但隨著尺寸的增大，晶圓製造的難度也是指數級增長，因此450毫米晶圓提了很多年了，但至今仍然沒能投入實用。 (再次強調晶圓上那是右側人的投影不是缺一塊) ASML的首批兩套NXE:3300B極紫外光刻系統將在今年第二、第三季度出貨並安裝，用於驗證極紫外光刻技術的可行性，為大規模製造做好準備。 ASML NXE:3300B系統已經斬獲了11個訂單，還有7個也保證採納。該系統已經做到單次曝光13nm，並且有能力達到9nm，為半導體工藝進軍個位數納米時代打下了基礎。 NXE:3300B系統在半年前的源功率只有11W，每小時最多產出7塊晶圓，三個月前提高到40W，如今已經可以做到55W，每小時產出43塊晶圓，而最終目標是105W、69塊。 在此之前，Intel、台積電、三星電子曾經分別向ASML投資多達41億美元、14億美元、9.7億美元，共同推進其加速研發450毫米晶圓和極紫外光刻技術，受到刺激的ASML隨後耗資25億美元收購了關鍵的光學技術提供商Cymer，加快極紫外光刻進展。 ※ ※ ※ 本文為 andy6989 與 熊蓋站 共同所有，未經同意，請勿轉載 ※ ※ ※ 　 ≡熊蓋站管理團隊≡--共勉之-- 快點進來吧!!每天都有好東西喔!! [樓 主] | 發表於:2013-04-20 15:13

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